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平面空氣軸承龍門架

主要特點(diǎn)
●由空氣軸承技術(shù)驅(qū)動(dòng)
●超平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)
●高速且速度波動(dòng)小
●便于維擴(kuò)
●出色的定位精度

應(yīng)用
●適用于溫度敏感應(yīng)用
●玻璃板刻線
●玻璃基板曝露
●晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
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主要特點(diǎn)
●由空氣軸承技術(shù)驅(qū)動(dòng)
●超平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)
●高速且速度波動(dòng)小
●便于維擴(kuò)
●出色的定位精度

應(yīng)用
●適用于溫度敏感應(yīng)用
●玻璃板刻線
●玻璃基板曝露
●晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
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