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XY 通光孔平臺

主要特點
●特別適用于中心通光孔的檢驗應(yīng)用
●集成XY精密直線電機(jī)平臺
●出色的幾何性能(平面度士10um,XY正交度土5arc-sec)
●集成電纜管理

應(yīng)用
●自動光學(xué)檢驗
●半導(dǎo)體晶圓檢測、視覺檢測
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主要特點
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●集成XY精密直線電機(jī)平臺
●出色的幾何性能(平面度士10um,XY正交度土5arc-sec)
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應(yīng)用
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